ESC Endura MCA pour outils de dépôt

Les porte-plaquettes électrostatiques Endura MCA sont intégrés aux plateformes Endura d’Applied Materials pour assurer un maintien stable des plaquettes pendant les processus de dépôt. Le maintien électrostatique et les performances thermiques sont essentiels pour obtenir des propriétés de film uniformes et des résultats de dépôt reproductibles.

MDC Europe fournit des solutions ESC Endura MCA configurées pour être compatibles avec les architectures d’outils et les conditions de processus Endura.

Caractéristiques et solutions

Maintien électrostatique sécurisé pour un positionnement stable des plaquettes pendant le dépôt PVD et CVD, maintenant la stabilité des plaquettes sous charge plasma et thermique
Fournit un contact thermique contrôlé pour un transfert de chaleur efficace
Favorise l’uniformité du film et la répétabilité du processus d’un cycle à l’autre
Compatible avec l’architecture du module Endura MCA et les conditions de la chambre
Réduit le glissement des plaquettes, les gradients thermiques, la variabilité du processus et les temps d’arrêt des outils

Avantages et services additionnels

Solutions et tarifs flexibles en fonction du mécanisme de défaillance
Masques de pulvérisation individuels pour tous les MCA-ESC
Tests fonctionnels
Produits qualifiés en unités de fabrication (fabs)
Remplacement du soufflet
Rodage de la céramique
Inspection électrique
Test de fuite d’hélium

Expertise de MDC Europe

MDC Europe fournit des solutions Endura MCA ESC avec un support applicatif axé sur la stabilité du processus de dépôt et l’intégration d’outils.

Pourquoi choisir nos produits ?

Reconditionnement de niveau OEM répondant aux spécifications d’origine
Plus de 30 ans d’expérience dans les solutions pour semi-conducteurs
Livraison et assistance rapides en Europe
Portefeuille de produits complet, des pièces de rechange aux systèmes
Approuvé par les principaux OEM et instituts de recherche