ESC Polyimide AMAT
Porte-plaquettes électrostatiques en polyimide AMAT pour les plateformes Applied Materials
Les porte-plaquettes électrostatiques en polyimide AMAT sont utilisés dans les outils de procédé Applied Materials où le serrage électrostatique des plaquettes doit être compatible avec des chimies et des plages de température spécifiques. Les ESC à base de polyimide permettent une manipulation stable des plaquettes dans les environnements de dépôt et de gravure.
MDC Europe fournit des solutions d’ESC en polyimide AMAT alignées sur les configurations d’outils Applied Materials.
Contexte du processus
Les ESC en polyimide AMAT sont déployés dans :
- les modules de procédé de dépôt et de gravure
- les environnements nécessitant une compatibilité chimique et thermique
- les applications exigeant un serrage électrostatique stable
Compatibilité des matériaux et des procédés
Les ESC en polyimide sont sélectionnés pour :
- la compatibilité avec des chimies de procédé définies
- un comportement thermique contrôlé
- une performance électrostatique stable
Ces caractéristiques favorisent une manipulation constante des plaquettes tout au long des cycles de procédé.
Support MDC Europe
MDC Europe assure la fourniture et l’intégration des ESC en polyimide AMAT en fonction des exigences des outils et des procédés Applied Materials.
Pourquoi choisir nos produits ?
- Reconditionnement de niveau OEM répondant aux spécifications d’origine
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