Procédés par lots
Traitement par lots par voie humide pour le nettoyage des semi-conducteurs et la gravure humide et sèche
Le traitement par lots par voie humide est appliqué dans la fabrication de semi-conducteurs et les environnements pilotes pour les étapes de nettoyage et de gravure humide où le débit et l’efficacité opérationnelle sont les principaux moteurs. En traitant plusieurs plaquettes simultanément, les systèmes par lots permettent une exécution stable et répétable d’étapes de processus bien définies.
MDC Europe fournit des solutions de traitement par lots par voie humide configurées pour une manipulation sécurisée des produits chimiques, la cohérence des processus et l’intégration dans les flux de travail industriels et pilotes.
Contexte de processus pour le traitement par lots par voie humide
Le traitement par lots est généralement utilisé lorsque :
- les recettes de processus sont matures et stables
- un traitement uniforme sur plusieurs plaquettes est acceptable
- le débit et l’efficacité des coûts sont des priorités clés
- un contrôle individuel au niveau de la plaquette n’est pas requis
Cette approche est courante dans les étapes de processus front-end et back-end établies.
Applications typiques du traitement par lots par voie humide
- Nettoyage de plaquettes et préparation de surface
- Gravure humide du silicium et des matériaux diélectriques
- Élimination des résidus de résine photosensible
- Traitement de semi-conducteurs front-end et back-end
Différents modules de traitement
- Traitement par voie humide à haut débit
- Jusqu’à 300 mm
- Jusqu’à 100 plaquettes par cycle
- Dry in Dry out
- NID pour le séchage à l’IPA en combinaison avec le N2
- Métallisation autocatalytique au nickel, palladium et or
Expertise de MDC Europe en traitement par voie humide
Fort d’une expérience dans les technologies par lots et sur plaquette unique, MDC Europe livre des solutions de traitement par voie humide adaptées aux environnements de recherche, pilotes et de fabrication. Nos équipes assurent la définition, la configuration et l’exploitation à long terme des systèmes.
Pourquoi choisir nos produits ?
- Reconditionnement de niveau OEM répondant aux spécifications d’origine
- Plus de 30 ans d’expérience dans les solutions pour semi-conducteurs
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- Approuvé par les principaux OEM et instituts de recherche