Sonde quadripolaire semi-automatisée
Systèmes de sondes quadripolaires semi-automatisées pour une évaluation précise de la résistivité
Les systèmes de sondes quadripolaires semi-automatisées combinent un positionnement contrôlé de la sonde avec une exécution de mesure reproductible, améliorant le débit et la cohérence pour la caractérisation de la résistivité en R&D et l’évaluation des processus.
Systèmes de cartographie de wafers carrés et ronds avec différents types de tailles de plateforme. Mesure de la résistivité, de la résistance de feuille et calcul de l’épaisseur de revêtement. Systèmes entièrement intégrés, indication directe de l’épaisseur calculée, sortie graphique puissante des résultats. Possibilité de mesurer plus de 5000 points sur les wafers.
Applications
Les systèmes de sondes quadripolaires semi-automatisées sont généralement appliqués lorsque :
- Pour les flux de travail de mesure à haut débit et standardisés
- Assure des résultats stables et reproductibles grâce à un contact de sonde contrôlé
- Idéal pour les environnements de traitement de wafers et solaires
- Convient à la fois pour la R&D
Capacités de mesure
- Positionnement automatisé de la sonde à des coordonnées définies
- Séquençage reproductible du contact et de la mesure
- Prise en charge de divers types et tailles d’échantillons
- Tailles d’échantillons de 50 mm à 450 mm
Ces caractéristiques permettent une mesure cohérente de la résistivité dans les flux de travail de recherche et développement.
Équipements
Réglages des têtes de sonde
Nous pouvons effectuer des réglages spécifiques sur les têtes de sonde en fonction du type d’échantillon
- Rayon de pointe de 12,5 µm à 500 µm
- Espacement des pointes : 1 mm, 1,591 mm, 0,625 mm
- Réglages de précharge de 10 g à 200 g
Support MDC Europe
MDC Europe configure des systèmes semi-automatisés pour répondre aux exigences de débit et de flux de travail des laboratoires, en fournissant des conseils sur la configuration des mesures et l’intégration des processus.
Pourquoi choisir nos produits ?
- Reconditionnement de niveau OEM répondant aux spécifications d’origine
- Plus de 30 ans d’expérience dans les solutions pour semi-conducteurs
- Livraison et assistance rapides en Europe
- Portefeuille de produits complet, des pièces de rechange aux systèmes
- Approuvé par les principaux OEM et instituts de recherche