Processus semi-automatisé pour plaquettes individuelles

Systèmes de déposition par centrifugation monosubstrat semi-automatisés

Processus semi-automatisé pour plaquettes individuelles

Les solutions de déposition par centrifugation monosubstrat semi-automatisées combinent des paramètres de dépôt contrôlés avec une flexibilité de processus activée par l’opérateur, offrant un équilibre entre le contrôle du débit et des flux de travail adaptables. Ces systèmes sont adaptés aux environnements de R&D et de développement de processus où une application de film contrôlée et reproductible est nécessaire, parallèlement à une manipulation flexible des échantillons.

Configurées pour une facilité d’utilisation et une harmonisation des flux de travail, les déposeuses par centrifugation semi-automatisées prennent en charge le dépôt de couches minces sur une gamme de matériaux, de tailles de substrats et de séquences de processus.

Adéquation du processus et cas d'utilisation

Les déposeuses par centrifugation semi-automatisées sont généralement utilisées lorsque :

  • une reproductibilité contrôlée du dépôt est requise
  • la flexibilité du flux de travail et l’implication de l’opérateur sont acceptables
  • les exigences de débit sont modérées
  • une manipulation adaptable des échantillons facilite l’évaluation des matériaux

Ces solutions sont adaptées aux laboratoires de caractérisation et aux environnements de développement pilote.

Capacités du système

Les systèmes semi-automatisés offrent :

  • un contrôle réglable des paramètres de centrifugation
  • un placement d’échantillons assisté par l’opérateur
  • un dépôt reproductible de couches minces
  • la prise en charge de plusieurs matériaux et types de substrats

Ces capacités garantissent un dépôt cohérent dans des flux de travail de R&D flexibles.

Support MDC Europe

MDC Europe aide à la sélection, à la configuration et à l’intégration des systèmes pour garantir que les systèmes semi-automatisés répondent aux attentes en matière de débit et de processus au sein des flux de travail de laboratoire.

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