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Robots pour systèmes de manipulation de plaquettes de semi-conducteurs

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Les robots sont utilisés dans les équipements de semi-conducteurs pour garantir une manipulation des plaquettes précise, répétable et exempte de contamination entre les modules de processus. Ils sont intégrés dans les plateformes de lithographie, de dépôt, de gravure et d’inspection où la précision et la fiabilité sont essentielles.

MDC Europe fournit des solutions de manipulation robotisée alignées sur les architectures d’équipements de semi-conducteurs, soutenant un fonctionnement stable dans les environnements de production, de pilote et de développement.

Rôle dans le processus

Les robots pour semi-conducteurs prennent en charge :

  • le transfert de plaquettes entre les chambres de processus
  • les opérations d’alignement et de positionnement
  • la réduction de la manipulation manuelle et des risques de particules

Considérations relatives à l’intégration

Les solutions robotiques sont sélectionnées en fonction de :

  • la compatibilité de la plateforme de l’outil
  • la taille des plaquettes et des exigences de manipulation
  • la précision du mouvement et de la répétabilité
  • l’intégration avec les systèmes de contrôle d’équipements existants

Support MDC Europe

MDC Europe accompagne la sélection et l’intégration de systèmes robotiques alignés sur les exigences des équipements de semi-conducteurs.

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Pourquoi choisir nos produits ?

  • Reconditionnement de niveau OEM répondant aux spécifications d’origine
  • Plus de 30 ans d’expérience dans les solutions pour semi-conducteurs
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  • Portefeuille de produits complet, des pièces de rechange aux systèmes
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