Porte-plaquettes électrostatiques LAM pour outils de semi-conducteurs

Les porte-plaquettes électrostatiques LAM sont utilisés dans les outils de traitement LAM où le maintien électrostatique des plaquettes doit être compatible avec des chimies et des plages de températures spécifiques. Ils permettent une manipulation stable des plaquettes dans les environnements de dépôt et de gravure.

MDC Europe fournit des solutions ESC LAM alignées sur les configurations d’outils LAM.

Contexte du processus

Les ESC LAM sont déployés dans :

les modules de procédé de dépôt et de gravure
les environnements nécessitant une compatibilité chimique et thermique
les applications exigeant un serrage électrostatique stable

Compatibilité des matériaux et des procédés

Les ESC LAM sont sélectionnés pour :

la compatibilité avec des chimies de procédé définies
un comportement thermique contrôlé
une performance électrostatique stable

Ces caractéristiques favorisent une manipulation constante des plaquettes tout au long des cycles de procédé.

Support MDC Europe

MDC Europe assure la fourniture et l’intégration des ESC LAM en fonction des exigences des outils et des processus LAM.

Pourquoi choisir nos produits ?

Reconditionnement de niveau OEM répondant aux spécifications d’origine
Plus de 30 ans d’expérience dans les solutions pour semi-conducteurs
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Portefeuille de produits complet, des pièces de rechange aux systèmes
Approuvé par les principaux OEM et instituts de recherche